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激光检测设备中,主要有激光干涉仪、激光平面干涉仪、激光跟踪仪 作者: 来源: 时间:2018-09-04 点击次数:

激光干涉仪

是校准数控机床、坐标测量机、测长机、电动滑台、线性模组及其它定位装置精度及线性指标最常用的标准仪器。一句话概括就是激光干涉仪是用来检测设备运动精度的仪器。

国内代表品牌型号:

中图仪器SJ6000

主要参数:

稳频精度:±0.05ppm

测量精度:±0.5ppm

线性测量距离:(0~80)m (无需远距离线性附件)

测量分辨力:1nm

应用图例:

2.激光平面干涉仪

平面和球面的面形检测;平面楔角测量、直角棱镜的直角偏差和任意角度的加工偏差;光学材料均匀性测量;角锥角度和面形偏差测量,在光学玻璃元件(包括玻璃、金属、陶瓷等)应用最为广泛。

国内代表品牌型号:上光/乾曜。

3.激光跟踪仪

激光跟踪仪是空间大尺寸三维坐标测量仪器,是一台以激光为测距手段配以反射靶标的仪器,它同时配有绕两个轴转动的测角机构,形成一个完整的球坐标测量系统。主要用于大型零件加工检验、部件组装、型面检测、机器人姿态调整以及动态跟踪,在航空航天、轨道交通、汽车船舶、大型装备、机器人、高等院校中有着广泛应用。激光跟踪仪主要功能之一就是大尺寸形位公差测量,因为被称之为大尺寸测量利器。

国内代表品牌型号:中图仪器GT1

主要参数:

典型应用:


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